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關(guān)于半導(dǎo)體工廠能耗分析及環(huán)境對能耗的影響

 更新日期:2024-08-27 點(diǎn)擊量:226

摘要:根據(jù)上海市某半導(dǎo)體制造工廠2015年1月1日至2017年12月31日動力機(jī)房內(nèi)冷水機(jī)組的實(shí)測滿載率和全年逐日負(fù)荷中與室外氣象條件相關(guān)部分,推導(dǎo)負(fù)荷和室外空氣比焓的關(guān)聯(lián)度,并依據(jù)4個生產(chǎn)半導(dǎo)體的重點(diǎn)城市的典型氣象(設(shè)計典型)年逐時參數(shù)報表總結(jié)了建造地點(diǎn)對能耗的影響,提出了未來半導(dǎo)體工廠的節(jié)能方向。

關(guān)鍵詞:半導(dǎo)體工廠;負(fù)荷;能源消耗;氣象數(shù)據(jù);比焓分析

0引言

隨著半導(dǎo)體制造技術(shù)越來越進(jìn)步,以及制造裝置和配套設(shè)備大型化的趨勢,潔凈室結(jié)構(gòu)和面積也越來越大,半導(dǎo)體工廠的能源消耗日趨增大。精細(xì)分析工廠的能源消耗組成及不同條件下建廠對運(yùn)行費(fèi)用的影響顯得十分重要。本文以上海市某半導(dǎo)體制造工廠機(jī)房改造項(xiàng)目為例,整理半導(dǎo)體廠房能耗規(guī)律并形成報告,進(jìn)一步演算不同建造地點(diǎn)對半導(dǎo)體廠房能耗影響的關(guān)聯(lián)度,為公司經(jīng)營活動提供數(shù)據(jù)支持。

1半導(dǎo)體工廠的能源消耗

1.1能源消耗結(jié)構(gòu)

國維持室內(nèi)潔凈度、溫濕度,為生產(chǎn)設(shè)備提供電力、超純水、特氣、化學(xué)品、壓空、真空,以及進(jìn)行廢水、廢氣處理等需要消耗大量能源,半導(dǎo)體潔凈廠房消耗的能源以電和天然氣為主。根據(jù)國際半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)協(xié)會(SEMI)公布的SEMI-S23裝置能源換算系數(shù),統(tǒng)計得到上海某半導(dǎo)體制造工廠的能源消耗結(jié)構(gòu),如圖1所示,除生產(chǎn)設(shè)備用電外的生產(chǎn)附屬設(shè)備能耗結(jié)構(gòu)如圖2所示。

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1.2能耗數(shù)據(jù)分析

由圖1可以看出,生產(chǎn)設(shè)備所消耗的能源多,占比達(dá)52%,而且與設(shè)備相關(guān)的冷熱源設(shè)備(占比20%)也是能耗大戶。在同樣工藝、相同產(chǎn)能前提下,生產(chǎn)設(shè)備耗能相差甚微,所以本文重點(diǎn)討論冷源設(shè)備中因工廠建造地點(diǎn)不同、新風(fēng)參數(shù)變化引起的能耗波動,旨在分析建造地點(diǎn)對半導(dǎo)體工廠能耗的影響。

2某半導(dǎo)體制造工廠2015—2017年冷水機(jī)組運(yùn)行參數(shù)分析

2.1數(shù)據(jù)來源

原機(jī)房設(shè)計采用機(jī)械通風(fēng)方式(機(jī)械排風(fēng)+自然送風(fēng)),離心風(fēng)機(jī)通過風(fēng)管系統(tǒng)將機(jī)房內(nèi)空氣吸入后排出室外,在機(jī)房內(nèi)形成一定的相對負(fù)壓,室外新風(fēng)經(jīng)由特定位置的百葉風(fēng)口吸入機(jī)房內(nèi)。機(jī)房運(yùn)行多年后,特別是二期的冷水機(jī)組及水泵安裝運(yùn)行后,發(fā)現(xiàn)如下問題:1)夏季機(jī)房內(nèi)溫度過高,維保人員無法忍受;2)夏季機(jī)房內(nèi)濕度過高,導(dǎo)致部分管路出現(xiàn)凝露銹蝕;3)全年機(jī)房內(nèi)為負(fù)壓,設(shè)備積塵嚴(yán)重。根據(jù)建設(shè)單位提供的機(jī)房2015年1月1日至2018年8月12日的水泵運(yùn)行頻率和冷水機(jī)組的壓縮機(jī)運(yùn)行電流,計算得出冷負(fù)荷,設(shè)計MAU+RCU(新風(fēng)空調(diào)機(jī)+自循環(huán)機(jī)組)組合空調(diào)方式解決上述3個問題,并使機(jī)房全年溫度不高于28℃,相對濕度不大于60%,同時驗(yàn)證建設(shè)單位所提供數(shù)據(jù)的真實(shí)可靠性。由于2018年數(shù)據(jù)不全,本文僅對2015—2017年3個完整日歷年的數(shù)據(jù)進(jìn)行分析。

2.2數(shù)據(jù)分析結(jié)論

數(shù)據(jù)統(tǒng)計思路為將給定的當(dāng)日冷水機(jī)組運(yùn)行臺數(shù)乘以設(shè)備的額定功率再乘以機(jī)組當(dāng)日的負(fù)荷率,得出當(dāng)日的運(yùn)行平均輸出功率PD:PD=NDPR(1)式中ND為當(dāng)日冷水機(jī)組運(yùn)行臺數(shù),以2015年1月1日一期低溫冷水機(jī)組為例,ND=2;P為冷水機(jī)組額定功率,同上條件,P=752kW;R為冷水機(jī)組額定負(fù)載電流,同上條件,R=55%。計算可得,2015年1月1日一期低溫冷水機(jī)組的平均輸出功率為827.2kW。根據(jù)上述方法分別統(tǒng)計出低溫冷水機(jī)組和中

溫冷水機(jī)組2015年的逐日平均輸出功率,如圖3所示。

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根據(jù)統(tǒng)計數(shù)據(jù)得出,低溫冷水機(jī)組整年運(yùn)行曲線平整,5—10月為負(fù)荷高峰期,其余月份除偶爾幾天出現(xiàn)峰值,其他日期較5—10月低36%,低溫冷水機(jī)組的日平均輸出功率低值出現(xiàn)在12月17日,為612kW;高值出現(xiàn)在8月7日,為2249.4kW。分析數(shù)據(jù)得出,低溫冷水機(jī)組全年開啟是因?yàn)槠渌綄俟δ軈^(qū),比如辦公區(qū)、食堂、設(shè)備機(jī)房的新風(fēng)空調(diào)及FCU等全年制冷設(shè)備接入了低溫冷水所致,這部分負(fù)荷相對比較固定,室外空氣參數(shù)對其影響較小,在后面分析中刪減此部分負(fù)荷,如圖3所示。中溫冷水機(jī)組整年運(yùn)行曲線根據(jù)新風(fēng)條件不同發(fā)生了相應(yīng)變化,日平均輸出功率低值出現(xiàn)在

2月5日,為2734.12kW;高值出現(xiàn)在8月6日,為7640.72kW。分析數(shù)據(jù)得出,中溫冷水機(jī)組承擔(dān)了核心生產(chǎn)區(qū)的MAU新風(fēng)預(yù)冷負(fù)荷、生產(chǎn)區(qū)降溫干盤管負(fù)荷、純廢水用冷負(fù)荷、生產(chǎn)冷卻水用冷負(fù)荷等,全年負(fù)荷水平較高,且不隨室外空氣參數(shù)變化而變化,在后面分析中合理刪減此部分負(fù)荷,如圖4所示。

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按照此方法,分別統(tǒng)計出2016年和2017年的逐日平均輸出功率,如圖5~8所示。

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3四個生產(chǎn)半導(dǎo)體的重點(diǎn)城市的氣象數(shù)據(jù)統(tǒng)計

3.1建廠地點(diǎn)選擇分析

工業(yè)企業(yè)建設(shè)地點(diǎn)的選擇和很多因素有關(guān),一般來說除考慮社會、經(jīng)濟(jì)、技術(shù)、政策因素以外,自然資源也有很大影響,比如氣候、水資源、風(fēng)力資源、電力資源、天然氣供給等。本文選擇北京、上海、成都、廈門4個生產(chǎn)半導(dǎo)體的重點(diǎn)城市進(jìn)行數(shù)據(jù)統(tǒng)計分析,使論文更貼合工程實(shí)際應(yīng)用,發(fā)掘其中規(guī)律。為使論文的數(shù)據(jù)來源更具,氣象參數(shù)引自氣象局公布的“典型氣象(設(shè)計典型)年

逐時參數(shù)報表",北京站臺編號為54511,上海站臺編號為58362,成都站臺編號為57633,廈門站臺編號為59134。

工廠運(yùn)行時,能耗特點(diǎn)為用于夏季降溫除濕的能耗大于冬季用于加濕的能耗,如果簡單選擇室外干球溫度變化趨勢來分析,勢必造成數(shù)據(jù)失真,比如室外中溫高濕情況下冷水機(jī)組負(fù)荷也大。因此,本文歸類統(tǒng)計4個生產(chǎn)半導(dǎo)體的重點(diǎn)城市的逐日比焓,來驗(yàn)證不同城市的能耗偏差。

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3.2北京典型氣象年逐日比焓統(tǒng)計(見圖9)

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3.3上海典型氣象年逐日比焓統(tǒng)計(見圖10)

3.4成都典型氣象年逐日比焓統(tǒng)計(見圖11)

3.5廈門典型氣象年逐日比焓統(tǒng)計(見圖12)

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4室外空氣參數(shù)變化對能耗的影響分析

通過對圖10所示的上海典型氣象年逐日比焓與圖3、5中冷水機(jī)組2015—2017年逐日平均輸出功率的正相關(guān)性分析,計算得到因室外空氣比焓波動引起的平均輸出功率增加因數(shù),再反推北京、成

都、廈門三地的能耗,結(jié)果見表1。地點(diǎn)對能耗影響比重約為9%;選擇以北京為代表的寒冷地區(qū)建廠為佳,選擇以上海、成都為代表的夏熱冬冷地區(qū)次之,而以廈門為代表的夏熱冬暖地區(qū)稍差;能耗偏差在-25%~30%之間,約占整廠能耗的2%~3%。

5半導(dǎo)體工廠節(jié)能措施分析

根據(jù)圖1所示的能源消耗構(gòu)成,半導(dǎo)體工廠的能源消耗特性是空調(diào)設(shè)備和生產(chǎn)制造裝置能耗占比大,所以從這兩方面開展節(jié)能對策研究,具體分析如下。

5.1生產(chǎn)設(shè)備節(jié)能對策

半導(dǎo)體生產(chǎn)中,應(yīng)根據(jù)各個生產(chǎn)過程的不同特點(diǎn),深入了解設(shè)備特性,優(yōu)化生產(chǎn)程序,達(dá)到節(jié)能目的。例如,擴(kuò)散爐等設(shè)備用電量大,使得潔凈室內(nèi)冷負(fù)荷增大,對應(yīng)的冷卻水量、排氣量增大:從用電量考慮,考慮生產(chǎn)設(shè)備并不是連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)生產(chǎn),需要降低設(shè)備待機(jī)狀態(tài)時的用電量;從冷卻水考慮,在設(shè)備允許的前提下,提高冷卻水的溫度,使全年均可使用冷卻塔自然換熱,而不需要經(jīng)過冷水機(jī)組換熱降溫;從排氣量考慮,準(zhǔn)確把握裝置的必要排氣量和真空度要求,匹配好設(shè)定值和需要值之間的誤差,減少排氣浪費(fèi),從而降低新風(fēng)處理能耗。再比如清洗裝置,純水使用量和廢液排放量特別多,從消耗純水考慮,二次配管時,循環(huán)管應(yīng)盡可能靠近機(jī)臺,減少因非循環(huán)管路洗凈等待時的純水排出量,從而也減少廢液排放。

5.2生產(chǎn)附屬設(shè)備節(jié)能對策

根據(jù)圖2所示生產(chǎn)附屬設(shè)備能源消耗構(gòu)成,冷熱源設(shè)備和循環(huán)空調(diào)設(shè)備是主要耗能設(shè)備,提高冷水機(jī)組的COP,提高風(fēng)機(jī)、水泵的輸送能效比是節(jié)能的關(guān)鍵。由于生產(chǎn)的不同時使用特性,風(fēng)機(jī)和水泵大范圍使用變頻器,排氣熱回收和冬季、過渡季使用免費(fèi)供冷系統(tǒng)是節(jié)能的有效對策,比如富士通的半導(dǎo)體工廠在寒冷地區(qū)建廠,冬季使用低溫冷卻水降低冷水回水溫度,從而提高冷水機(jī)組COP,甚至縮短冷水機(jī)組運(yùn)行時間,降低電力消耗。

6 Acrel-EIOT能源物聯(lián)網(wǎng)云平臺

(1)概述

Acrel-EIoT能源物聯(lián)網(wǎng)開放平臺是一套基于物聯(lián)網(wǎng)數(shù)據(jù)中臺,建立統(tǒng)一的上下行數(shù)據(jù)標(biāo)準(zhǔn),為互聯(lián)網(wǎng)用戶提供能源物聯(lián)網(wǎng)數(shù)據(jù)服務(wù)的平臺。用戶僅需購買安科瑞物聯(lián)網(wǎng)傳感器,選配網(wǎng)關(guān),自行安裝后掃碼即可使用手機(jī)和電腦得到所需的行業(yè)數(shù)據(jù)服務(wù)。

該平臺提供數(shù)據(jù)駕駛艙、電氣安全監(jiān)測、電能質(zhì)量分析、用電管理、預(yù)付費(fèi)管理、充電樁管理、智能照明管理、異常事件報警和記錄、運(yùn)維管理等功能,并支持多平臺、多語言、多終端數(shù)據(jù)訪問。

(2)應(yīng)用場所

本平臺適用于公寓出租戶、連鎖小超市、小型工廠、樓管系統(tǒng)集成商、小型物業(yè)、智慧城市、變配電站、建筑樓宇、通信基站、工業(yè)能耗、智能燈塔、電力運(yùn)維等領(lǐng)域。

(3)平臺結(jié)構(gòu)

圖片1

(4)平臺功能

◆電力集抄

電力集抄模塊可以實(shí)現(xiàn)對各種監(jiān)測數(shù)據(jù)的查詢、分析、預(yù)警及綜合展示,以保證配電室的環(huán)境友好。在智能化方面實(shí)現(xiàn)供配電監(jiān)控系統(tǒng)的遙測'、遙信、遙控控制,對系統(tǒng)進(jìn)行綜合檢測和統(tǒng)一管理;在數(shù)據(jù)資源管理方面,可以顯示或查詢供配電室內(nèi)各設(shè)備運(yùn)行(包括歷史和實(shí)時參數(shù),并根據(jù)實(shí)際情況進(jìn)行日報、月報和年報查詢或打印,提高工作效率,節(jié)約人力資源。

圖片2

變壓器監(jiān)控

圖片3

配電圖

◆能耗分析

能耗分析模塊采用自動化、信息化技術(shù),實(shí)現(xiàn)從能源數(shù)據(jù)采集、過程監(jiān)控、能源介質(zhì)消耗分析、能耗管理等全過程的自動化、科學(xué)化管理,使能源管理、能源生產(chǎn)以及使用的全過程有機(jī)結(jié)合起來,運(yùn)用數(shù)據(jù)處理與分析技術(shù),進(jìn)行離線生產(chǎn)分析與管理,實(shí)現(xiàn)全廠能源系統(tǒng)的統(tǒng)一調(diào)度,優(yōu)化能源介質(zhì)平衡、有效利用能源,提高能源質(zhì)量、降低能源消耗,達(dá)到節(jié)能降耗和提升整體能源管理水平的目的。

圖片4

能耗概況

圖片5

◆預(yù)付費(fèi)管理

1)登陸管理:管理操作員賬戶及權(quán)限分配,查看系統(tǒng)日志等功能;

2)系統(tǒng)配置:對建筑、通訊管理機(jī)、儀表及默認(rèn)參數(shù)進(jìn)行配置;

3)用戶管理:對商鋪用戶執(zhí)行開戶、銷戶、遠(yuǎn)程分合閘、批量操作及記錄查詢等操作;

4)售電管理:對已開戶的表進(jìn)行遠(yuǎn)程售電、退電、沖正及記錄查詢等操作;

5)售水管理:對已開戶的表進(jìn)行遠(yuǎn)程售水、退水、記錄查詢等操作;

6)報表:提供售電、售水財務(wù)報表、用能報表、報警報表等查詢,本系統(tǒng)所有的報表及記錄查詢,都支持excel格式導(dǎo)出。

圖片6

預(yù)付費(fèi)看板

◆充電樁管理

通過物聯(lián)網(wǎng)技術(shù),對接入系統(tǒng)的充電樁站點(diǎn)和各個充電樁進(jìn)行不間斷地數(shù)據(jù)采集和監(jiān)控,同時對各類故障如充電機(jī)過溫保護(hù)、充電機(jī)輸入輸出過壓、欠壓、絕緣檢測故障等一系列故障進(jìn)行預(yù)警。云平臺包含了充電收費(fèi)和充電樁運(yùn)營的所有功能,包括城市級大屏、交易管理、財務(wù)管理、變壓器監(jiān)控、運(yùn)營分析、基礎(chǔ)數(shù)據(jù)管理等功能。

圖片7

充電樁看板

◆智能照明

智能照明通過物聯(lián)網(wǎng)技術(shù)對安裝在城市各區(qū)域的室內(nèi)照明、城市路燈等照明回路的用電狀態(tài)進(jìn)行不間斷地數(shù)據(jù)監(jiān)測,也可以實(shí)現(xiàn)定時開關(guān)策略配置及后臺遠(yuǎn)程管理和移動管理等,降低路燈設(shè)施的維護(hù)難度和成本,提升管理水平,并達(dá)到一定節(jié)能減掛的效果。

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監(jiān)控頁面

◆安全用電

安全用電采用剩余電流互感器、溫度傳感器、電氣火災(zāi)探測器,對引發(fā)電氣火災(zāi)的主要因素(導(dǎo)線溫度、電流和剩余電流)進(jìn)行不間斷的數(shù)據(jù)跟蹤與統(tǒng)計分析,并將發(fā)現(xiàn)的各種隱患信息及時推送給企業(yè)管理人員,指導(dǎo)企業(yè)實(shí)現(xiàn)一時間的排查和治理,達(dá)到消除潛在電氣火災(zāi)安全隱患,實(shí)現(xiàn)“防患于未然"的目的。

◆智慧消防

通過云平臺進(jìn)行數(shù)據(jù)分析、挖掘和趨勢分析,幫助實(shí)現(xiàn)科學(xué)預(yù)警火災(zāi)、網(wǎng)格化管理、落實(shí)多元責(zé)任監(jiān)管等目標(biāo)。原先針對“九小場所"和危化品生產(chǎn)企業(yè)無法有效監(jiān)控的空白,適應(yīng)于所有公建和民建,實(shí)現(xiàn)了無人化值守智慧消防,實(shí)現(xiàn)智慧消防“自動化"、“智能化"、“系統(tǒng)化"、用電管理“精細(xì)化"的實(shí)際需求。

(5)系統(tǒng)硬件配置

分類

產(chǎn)品型號

外觀

產(chǎn)品功能

無線測溫

ARTM-Pn

產(chǎn)品

可監(jiān)測電壓、電流、頻率、有功功率、無功功率、電能,可接收60個無線溫度傳感器溫度

ATC600

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ATC600有2種工作模式:終端(-C)、中繼(-Z),可根據(jù)項(xiàng)目布局選擇配置??山邮?40個無線溫度傳感器溫度

光伏監(jiān)控

AGF

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光伏電池串開路報警,可以配合組串電壓進(jìn)行綜合判斷;帶3路開關(guān)量狀態(tài)監(jiān)測,用于采集直流斷路器、防雷器等輸出空接點(diǎn)狀態(tài);一次電流采用穿孔方式接入,安裝方便,安全性高;測量元件采用霍爾傳感器,隔離測量大電流20A;電壓測量功能可測量母線電壓高DC1500V

電力監(jiān)控

AEM96

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三相電力參數(shù)測量、電壓和電流的相角、四象限電能計量、復(fù)費(fèi)率、大需量、歷史電能統(tǒng)計、開關(guān)量事件記錄、歷史極值記錄、31次分次諧波及總諧波含量分析、分相諧波及基波電參量(電壓、電流、功率)、開關(guān)量、報警輸出

APM系列

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全電量測量,四象限電能,復(fù)費(fèi)率電能,儀表內(nèi)部溫度測量,總有功、總無功、總視在電能脈沖輸出、秒脈沖等可選。三相電流、有功功率、無功功率、視在功率實(shí)時需量及大需量(包含時間戳)。電流、線電壓、相電壓、有功功率、無功功率、視在功率、功率因數(shù)、頻率、電流總諧波、電壓總諧波的本月極值和上月極值(包含時間戳)。中文顯示,有功電能0.2s級。

預(yù)付費(fèi)

DDSY

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單相電參量U、I、P、Q、S、PF、F測量。有功電能計量(正、反向),A、B、C分相正向有功電能,支持4個時區(qū)、2個時段表、14個日時段、4個費(fèi)率大需量及發(fā)生時間,實(shí)時需量,歷史凍結(jié)數(shù)據(jù)購電記錄;8位段式LCD顯示、背光顯示;有功電能脈沖輸出;有功電能精度1級,無功電能0.5s級。

DTSY

三相電參量U、I、P、Q、S、PF、F測量。有功電能計量(正、反向),A、B、C分相正向有功電能,支持4個時區(qū)、2個時段表、14個日時段、4個費(fèi)率大需量及發(fā)生時間,實(shí)時需量,歷史凍結(jié)數(shù)據(jù)購電記錄;8位段式LCD顯示、背光顯示;有功電能脈沖輸出;有功電能精度1級,無功電能0.5s級。

智能抄表

ADL200

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單相電參量U、I、P、Q、S、PF、F測量??傠娔苡嬃浚ǚ聪蛴嬋胝颍?,3個月歷史電能數(shù)據(jù)凍結(jié)存儲;8位段式LCD顯示;有功電能脈沖輸出;有功電能精度1級,無功電能2級。

ADL400

三相電參量U、I、P、Q、S、PF、F測量。(正、反向)有功、無功電能計量;A、B、C分相正向有功電能計量;2-31次諧波電壓電流;12位段式LCD顯示、背光顯示,電能精度0.5s級。

ADW210

4路三相電壓、電流、功率、功率因數(shù)、頻率測量;電壓電流相角、電壓電流不平衡度測量;電壓電流2-31次分次諧波及總畸變測量;當(dāng)月及上三月的電壓、電流、功率極值記錄;大需量及上十二月歷史需量記錄;事件記錄、復(fù)費(fèi)率、四象限電能及歷史電能記錄;支持12路開關(guān)量輸入4路開關(guān)量輸出;支持12路測溫4路剩余電流測量;有功電能精度1級。

ADW300

三相電壓、電流、功率、功率因數(shù)、頻率測量;電壓電流相角、電壓電流不平衡度測量;電壓電流2-31次分次諧波及總畸變測量;當(dāng)月及上三月的電壓、電流、功率極值記錄;大需量及上十二月歷史需量記錄;事件記錄、復(fù)費(fèi)率、四象限電能及歷史電能記錄;支持4路開關(guān)量輸入、2路開關(guān)量輸出;支持4路測溫;支持1路剩余電流測量;支持本地顯示及按鍵設(shè)置;有功電能精度1級。

通訊方式:支持RS485通訊、Lora無線通訊、4G通訊;WIFI通訊

直流電能表

DJSF1352

aa1d260d1f96e0c73513c7dced636c7

1.精度:1級或0.5級,帶±12V電壓輸出用于霍爾傳感器供電

2.測量:電壓、電流、功率、正反向電能,支持雙路計量。

電氣安全

ARCM300-Z

三相(I、U、Kw、Kvar、Kwh、Kvarh、Hz、cosΦ),視在電能、四象限電能計量,單回路剩余電流監(jiān)測,4路溫度監(jiān)測,2路繼電器輸出,2

路開關(guān)量輸入,支持?jǐn)嚯妶缶蟼?/p>

AAFD-DU

IMG_256

監(jiān)測故障電弧、漏電、溫度

兩路無源干接點(diǎn)(開關(guān)量)輸入

兩路無源常開觸點(diǎn)(開關(guān)量)輸出

充電樁

ACX系列

C:/Users/wangaihua/AppData/Local/Temp/picturecompress_20220315110710/output_1.pngoutput_1

充滿自停、斷電記憶、短路保護(hù)、過載保護(hù)、空載保護(hù)、故障回路識別、遠(yuǎn)程升級、功率識別、獨(dú)立計量、告警上報。

支持投幣、刷卡,掃碼、免費(fèi)充電,

AEV_AC007

額定功率7kW,單相三線制,防護(hù)等級IP65,具備防雷保護(hù)、過載保護(hù)、短路保護(hù)、漏電保護(hù)、智能監(jiān)測、智能計量、遠(yuǎn)程升級,支持刷卡、掃碼、即插即用。

通訊方式:4G、藍(lán)牙、Wifi

智慧照明

ASL200

遙控輸出

兩路無源干接點(diǎn)(開關(guān)量)輸入

兩路無源常開觸點(diǎn)(開關(guān)量)輸出

7結(jié)論

以史為鑒,半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)是戰(zhàn)略之爭。2014年國務(wù)院頒布的《集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展推進(jìn)綱要》明確提出,到2020年,集成電路產(chǎn)業(yè)與國際水平的差距逐步縮小,16、14nm制造工藝實(shí)現(xiàn)規(guī)模量產(chǎn),封裝測試技術(shù)達(dá)到國際水平,關(guān)鍵裝備和材料進(jìn)入國際采購體系,基本建成技術(shù)、安全可靠的集成電路產(chǎn)業(yè)體系。2015年發(fā)布的10年戰(zhàn)略計劃《中國制造2025》則提出,2020年中國芯片自給率要達(dá)到40%,2025年要達(dá)到70%。如何推動半導(dǎo)體工廠的建廠技術(shù)進(jìn)步,服務(wù)戰(zhàn)略是我們接下來要持之以恒去做的事情。本文從能耗實(shí)測數(shù)據(jù)出發(fā),定性分析了建廠地點(diǎn)對能耗的影響,進(jìn)而提出了一些節(jié)能措施。后續(xù)工作是收集更多的半導(dǎo)體工廠運(yùn)行數(shù)據(jù),建成數(shù)據(jù)庫儲備,提升技術(shù)能力。

參考文獻(xiàn)

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[2]趙偉 東.建廠地區(qū)條件與廠址選擇[J].石 油 化 工 設(shè) 計,1999,16(2):30 33.

[3]企業(yè)微電網(wǎng)設(shè)計與應(yīng)用手冊2022.05版.